一、申請階段

 形式要件審查：

由計畫辦公室核對申請計畫各項應備文件。若申請機構之申請文件資料或應記載事項有不全或不符合規定時，計畫辦公室將以書面通知該申請機構補件。

二、審查階段

 資格審查及財務審查：

1. 資格審查：由計畫辦公室針對申請計畫書之申請機構資格、合作模式、計畫書格式及附件、經費編列原則等項目進行審查。

2. 財務審查：本項目由計畫辦公室委託之財務審查小組執行，依公司所提出之最近三年經會計師簽證之財務報表或學研機構所提出之組織結算申報證明文                       件、最近一年無退票紀錄證明及其他財務證明文件等資料進行申請機構之財務狀況分析。

3. 前項審查不符合規定時，則由計畫辦公室提報產發會備查，審查結果由機關函知申請機構退還原申請計畫。

 書面審查及產發會議審查：

由機關聘請相關領域之學者、專家組成審查小組進行書面審查，審查小組得視需要邀請申請機構進行簡報說明；審查小組書面審查完畢後應送請產業發展委員審查會議（以下簡稱產發會議）進行審查。申請機構及合作單位有必要出席審查小組簡報說明與產發會議審查，並回覆委員之疑問及意見。

 核定：依據產發會議審議結果，由機關進行計畫核定。

1. 審議案件審查結果。

2. 核定總經費、補助金額、自籌款金額及執行期程等。

 通知結果：由機關依產發會議審查結果，正式函文通知申請機構。（審查不通過之案件由機關退還原申請文件，並得視需要留存二份文件）。